作為華虹集團(tuán)在上海市域外布局的第一個集研發(fā)與生產(chǎn)于一體的制造基地，華虹無錫集成電路研發(fā)和制造基地一期項目6月6日迎來重要階段性成果，由華虹半導(dǎo)體(無錫)有限公司承擔(dān)的12英寸生產(chǎn)線(華虹七廠)成功實現(xiàn)首批光刻機(jī)搬入，標(biāo)志著華虹七廠建設(shè)邁上一個新臺階，為今年9月份建成投片奠定了基礎(chǔ)。

華虹集團(tuán)是國家“909”工程的成果與載體。2017年8月，華虹集團(tuán)與無錫市政府簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，總投資約100億美元的華虹集團(tuán)集成電路研發(fā)和制造基地項目正式落戶無錫高新區(qū)。華虹無錫項目一期投資25億美元，主要建設(shè)一條工藝等級為90-55納米、月產(chǎn)4萬片的12英寸特色工藝生產(chǎn)線，將開發(fā)生產(chǎn)智能卡芯片、微控制器芯片、電源管理芯片及系統(tǒng)集成芯片等產(chǎn)品。

自2018年3月開工至今，華虹七廠主要工程節(jié)點較原計劃大幅提前。目前主廠房已完成凈化裝修，相關(guān)配套機(jī)電設(shè)備準(zhǔn)備就緒，具備了工藝設(shè)備搬入條件。今年5月24日，華虹七廠實現(xiàn)首臺工藝設(shè)備的搬入，6月6日又迎來生產(chǎn)線最關(guān)鍵的首批光刻機(jī)的搬入。

據(jù)專家介紹，光刻機(jī)是芯片制造過程中的核心設(shè)備，它定義了整條生產(chǎn)線的工藝水平。芯片制造是通過光刻把圖形復(fù)制到硅片上的過程，圖形最小尺寸取決于光刻機(jī)水平。華虹無錫項目工藝等級為55nm，所選用光刻機(jī)由荷蘭ASML公司生產(chǎn)，在55nm節(jié)點其技術(shù)是目前最廣泛應(yīng)用的成熟產(chǎn)品。隨著光刻機(jī)的搬入，華虹七廠生產(chǎn)線建設(shè)進(jìn)入到設(shè)備全面安裝調(diào)試階段，朝著年內(nèi)實現(xiàn)量產(chǎn)又邁進(jìn)了一大步。

華虹七廠廠長倪立華告訴記者，在接下來的一個半月時間里，無錫七廠的后續(xù)設(shè)備將不間斷密集搬入并完成安裝調(diào)試。工廠將力爭在8月份實現(xiàn)工藝線貫通，9月份完成產(chǎn)品試片，年內(nèi)實現(xiàn)規(guī)模出貨。

集成電路代工企業(yè)在技術(shù)上通常有兩條戰(zhàn)略發(fā)展路線，一條是沿著“摩爾定律”不斷微細(xì)化發(fā)展，一條是沿著“超摩爾定律”發(fā)展特色工藝。近年來，華虹集團(tuán)一方面堅持在“摩爾定律”路線上不斷研發(fā)先進(jìn)工藝技術(shù)，同時堅持在“超摩爾定律”方面不斷發(fā)展。華虹無錫項目正是華虹8英寸“超摩爾定律”特色工藝平臺在12英寸上的進(jìn)一步延伸，它瞄準(zhǔn)的終端應(yīng)用包括5G通信、物聯(lián)網(wǎng)以及汽車電子等領(lǐng)域，這也與無錫市的產(chǎn)業(yè)發(fā)展定位和走向非常契合。

華虹無錫項目的啟動建設(shè)，將使無錫成為全國集成電路高端生產(chǎn)線最密集地區(qū)之一，鞏固無錫作為“國家南方微電子工業(yè)基地中心”地位，也將進(jìn)一步奠定無錫高新區(qū)在全國集成電路領(lǐng)域的領(lǐng)先位置。同時，無錫正在打造以物聯(lián)網(wǎng)為龍頭的新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高地，華虹的到來，也將為無錫智慧城市建設(shè)提供有力支撐。無錫市副市長王進(jìn)健表示，將把華虹無錫項目作為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的“頭號工程”，以更大力度支持華虹集團(tuán)在無錫高新區(qū)的業(yè)務(wù)發(fā)展。

自1996年成立以來，華虹集團(tuán)一直是我國發(fā)展自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)的先行者和主力軍。華虹進(jìn)入無錫后，無錫的通用半導(dǎo)體制造技術(shù)將從8英寸時代進(jìn)入12英寸時代，工藝技術(shù)能力也將由之前的0.13微米提升至55納米節(jié)點。華虹無錫基地也是無錫迄今為止單體投資最大的產(chǎn)業(yè)項目。

華虹集團(tuán)總裁王靖表示，華虹無錫項目的布局，是華虹集團(tuán)全面貫徹落實長三角區(qū)域經(jīng)濟(jì)一體化發(fā)展、推動經(jīng)濟(jì)實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的重要舉措，也是深化貫徹落實打響“上海制造”品牌建設(shè)的重要抓手。

近日，我國正式發(fā)放5G商用牌照，加速進(jìn)入5G時代。據(jù)倪立華介紹，智慧城市的根基以及物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展離不開5G技術(shù)支撐，華虹無錫項目瞄準(zhǔn)的終端應(yīng)用包括5G、物聯(lián)網(wǎng)等新興應(yīng)用領(lǐng)域，規(guī)劃技術(shù)路線包含邏輯與射頻、嵌入式非易失性存儲器以及電源管理。隨著5G商用時點的臨近，5G射頻芯片迎來黃金發(fā)展期。華虹無錫(半導(dǎo)體)有限公司也將基于華虹宏力成熟的射頻CMOS工藝，以及RF　SOI與鍺硅BiCMOS工藝等，為無錫打造以物聯(lián)網(wǎng)為龍頭的新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高地貢獻(xiàn)力量。(高少華 陳杰)

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