【資料圖】

記者從中國科學院獲悉，近日，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯實驗站二期建設項目順利通過總驗收。

納米真空互聯實驗站是中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所（簡稱：中科院蘇州納米所）建設的，集材料生長、器件加工、測試分析為一體的材料領域重大綜合科研裝置。真空互聯實驗站面向國家戰略需求和科學前沿重大問題，開創一條變革性的技術路線，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機互聯在一起，突破常規超潔凈環境下，獨立分散設備難以突破的材料本征特性、原子級精準調控、表/界面調控和異質集成、器件原位制造等局限，為國家戰略材料和前沿材料領域研究提供重要建制化、體系化綜合科研裝置的支撐。

中科院蘇州納米所納米真空互聯實驗站由中國科學院、江蘇省、蘇州市以及蘇州工業園區共同投資建設。自2014年4月開始，通過兩期建設，目前近40臺各種大型工藝設備通過203米長的超高真空管道互聯，已建成材料制備與工藝、微觀機理準原位分析、跨尺度性能測試、氣氛可控和真空互聯控制與對接系統等五大模塊平臺。近日，來自中國科學技術大學、中科院化學研究所、中科院蘇州醫工所等單位的專家組成驗收專家組，對二期建設項目進行了現場鑒定，并一致同意通過驗收。

自2019年試運行起，至2022年底，實驗站累計已開展合作課題651個，服務用戶數量220多家，逐步建立了以蘇州工業園區為中心，立足江蘇省，輻射長三角地區，延伸海內外的用戶科研服務體系。

標簽：